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MYS10iL 系列是一款全自动在线等离子体处理系统,专为半导体、电子、SMT、光电子和医疗技术等各个领域的应用而开发。
• 常压氩等离子体系统
• 100mm宽在线批量等离子处理;与传统方法相比,效率提高 2-5 倍,运营成本降低 30% 以上
• 100% 中性血浆;对敏感电子元件安全、温和——无等离子轰击、静电、火花、电弧、灰尘、高温、表面波纹或紫外线辐射
• 多功能化学工艺:用于去除有机污染物的O2 工艺;用于去除金属氧化物和活化产品表面的 H2 工艺
• 不会对产品产生颗粒或液体污染
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