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MYS10SD 是一款全自动在线等离子处理系统，专为 Mini LED、电子、SMT、光电和医疗技术等领域的应用而开发。
• 常压氩广域等离子体系统
• 100mm宽在线批量等离子处理；与传统方法相比，效率提高 2-5 倍，运营成本降低 30% 以上
• 加工过程中产品表面温度保持在45°C以下
• 即时启动，无需预热时间，节省生产时间
• 能够加工多种产品；支持多种尺寸等离子头灵活切换
• 高度灵活、兼容且经济高效的等离子平台
• 能够对特定产品区域进行有针对性的清洁
| 基本规格 | MYS10SD |
| 电源要求 | 交流200~240V，3.2kW，15A，50Hz |
| 气压要求 | 90 磅/平方英寸（6 巴） |
| 方面 | 990*1300*1800毫米 |
| 重量 | 680公斤 |
| 认证标准 | CE |
| 定位精度 | XYZ：±50μm @ 3σ |
| XYZ 轴重复性 | XYZ：±25μm @ 3σ |
| 最大速度 | 600毫米/秒（XY） |
| 加速 | 0.6克 |
| 驱动系统 | 交流伺服 |
| 工作平台规格 | |
| 输送机类型 | 腰带 |
| 输送机负载能力 | 3公斤 |
| 基材厚度范围（无载体） | |
| 0.5–10 毫米 | |
| Z轴行程 | 60毫米 |
| 最大限度。元件高度（顶侧） | 100毫米 |
| 最大限度。元件高度（底部） | 100毫米 |
| 通讯协议 | SMEMA |
| 工作范围 | |
| 等离子处理面积（宽×深） | 475–480 毫米 |
| 处理后接触角 (WCA) | WCA < 10°（硅片） WCA < 20°（非金属） |
| 等离子处理方法 | Ar+O2 工艺去除有机污染物 |
| 等离子系统要求 | |
| 射频功率 | 13.56 MHz 时为 250 W |
| 主要等离子气体 | 氩气 |
| 工艺气体 | 氧气 |
| 供气压力范围 | 40–120 磅/平方英寸（0.3–0.8 兆帕） |
地址
中国广东省东莞市长安镇长安西安路182号2栋5楼
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